| CVO 100 |
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0.5µNm~100mNm
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1nNm
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0.9µrad
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10µHz~100Hz
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50mrad/sec~320rad/sec
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0.1µrad/sec~320rad/sec
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0.001~20N
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* |
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-150°C~550°C
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* |
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-40°C~450°C |
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温度制御 |
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-40°C~250°C
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-15°C~300°C
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室温~450°C
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-30°C~200°C
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-20°C~180°C
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室温~550°C
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* |
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-150°C~550°C
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* |
付属品 |
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* - 「垂直抗力」 オプションを適用した場合に有効なオプション。
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